霧化器是將試液霧化。霧化器是原子化系統的重要部件,其性能對測定的精密度和化學干擾等產生顯著影響。因此要求霧化器噴霧穩定、霧滴細小、均勻和霧化效率高。
PFA霧化器和普通材質霧化器選擇,耐HF材質一般由聚四氟乙烯、全氟樹脂、陶瓷氧化鋁、聚酰胺等材料制成,主要用于地質、土壤、半導體、合金等含硅化物樣品的檢測。另外,普通霧化器由玻璃或石英制成,主要用于環境水質、簡單金屬、及非HF處理樣品檢測??側芙夤腆w量是ICP-MS霧化器的基本指標,界限值都在5%、10%、20%、25%、30%、40%(W/v),其中30%、40%的都是V型或平行霧化器。
ICP上用的微量霧化器,適合于含量較高濃度分析和ICP-MS分析。
高鹽霧化器使用高強惰性塑料材質,可耐受除濃硫酸以外的所有的酸。霧化過程:樣品從小孔流出,順凹槽流下,與高速載氣相遇,發生霧化。高鹽霧化器可以耐受很高的總溶解固體量,不易發生堵塞,但它不是自提升霧化器,需要蠕動泵引入樣品。